松村 隆教授（工学部機械工学科）
ガラスの切削は加工能率が悪いため、大きな面積に微細構造を加工するには長い時間をかけなければなりません。この技術は、一つの切れ刃上に幅と大きさが2μmの13個の微細切れ刃を集束イオンビームで成形し、一回の切削送りで13本の溝を加工します。これにより加工能率を改善させ、大きな表面に微細構造を短時間に加工できるようになります。ガラス基板のマイクロTASにおける機能表面要素としての応用が期待できます。
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